長野計器NKS半導(dǎo)體行業(yè)小型數(shù)顯壓力表ZT67-6
長野計器NKS半導(dǎo)體行業(yè)小型數(shù)顯壓力表ZT67-6
長野計器NKS半導(dǎo)體行業(yè)小型數(shù)顯壓力表ZT67-6
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產(chǎn)品概述
ZT67 是 30mm 方盤緊湊型半導(dǎo)體專用壓力表，細(xì)分 UC 超潔凈級、通用級多產(chǎn)品線，適配真空腔體、干泵、鋼瓶氣柜、集成氣源面板等半導(dǎo)體設(shè)備；一體焊接防腐傳感 + 雙路獨立報警輸出，兼顧狹小柜體安裝、就地讀數(shù)與自動化聯(lián)鎖，是微電子、光伏特氣系統(tǒng)小型化配套優(yōu)選儀表。
產(chǎn)品優(yōu)勢
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全熔焊傳感結(jié)構(gòu)，適配半導(dǎo)體高純氣體
316L 閥體與鈷鎳合金 / 316L 傳感器無縫熔接，無泄漏死角，氣密性與耐腐蝕性優(yōu)異，適配腐蝕性特種工藝氣體、惰性高純氣體。
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30mm 標(biāo)準(zhǔn)小殼體，設(shè)備內(nèi)嵌省空間
□30mm 標(biāo)準(zhǔn)面板尺寸，可直接嵌入氣源面板、控制柜面板，適配半導(dǎo)體設(shè)備緊湊化集成設(shè)計。
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大字符 LED，狹小空間讀數(shù)清晰
10mm 高亮數(shù)碼字體，機柜密閉、設(shè)備狹小安裝位也能直觀讀取壓力數(shù)值。
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雙路獨立控制點，分級報警聯(lián)鎖
兩路完全獨立比較器輸出，可分別設(shè)置高低壓閾值，實現(xiàn)低壓預(yù)警、高壓停機兩級管控，適配真空、供氣系統(tǒng)安全聯(lián)鎖。
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多接頭規(guī)格，現(xiàn)場選型靈活
多款標(biāo)準(zhǔn)卡套、集成接頭可選，兼容鋼瓶柜、集成閥盤、真空管路多種安裝接口。
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分級品類全覆蓋，從超凈到通用按需選
UC 超潔凈等級用于高純特種氣體，通用規(guī)格用于普通吹掃氣、真空管路，一站式匹配不同工藝介質(zhì)。
適用場景
半導(dǎo)體真空腔體壓力監(jiān)測、干式真空泵負(fù)壓監(jiān)控、特氣鋼瓶柜、集成氣源面板、光伏設(shè)備工藝氣體管路、實驗室小型高純氣路。
